一、?機(jī)械定位類故障?

1、?探針無法移動或定位失準(zhǔn)?

l ?診斷方法?：檢查電源通斷狀態(tài)，觀察驅(qū)動器/電機(jī)是否異常運行；使用顯微鏡校準(zhǔn)探針與樣品臺的水平度。

l ?解決方案?：更換損壞的電機(jī)或電路板；緊固機(jī)械部件并重新校準(zhǔn)X/Y/Z軸定位系統(tǒng)。

2、?探針與樣品接觸異常?

l ?診斷方法?：觀察探針jian端是否彎曲/氧化，檢查樣品表面平整度。

l ?解決方案?：更換老化探針或調(diào)整探針壓力至合適范圍（推薦壓力：0.1-0.5N）；使用真空卡盤吸附固定樣品以消除位移。

二、?電接觸與信號類故障?

1、?探針接觸不良導(dǎo)致信號失真?

l ?診斷方法?：通過示波器檢測信號波形是否異常（如噪聲增大、幅值波動）；測量探針電阻值是否超出標(biāo)準(zhǔn)范圍（通常＜1Ω）。

l ?解決方案?：使用酒精清潔探針和被測點，消除氧化層或污染物；調(diào)整射頻探針阻抗匹配模塊（針對高頻測試場景）。

2、?測試數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確或重復(fù)性差?

l ?診斷方法?：對比多次測試結(jié)果差異，排查環(huán)境干擾（如溫濕度波動）。

l ?解決方案?：啟用真空/正壓環(huán)境隔離外部干擾；校準(zhǔn)測試設(shè)備（如源表、示波器）的基準(zhǔn)參數(shù)。

三、?環(huán)境控制類故障?

1、?真空度不足或泄漏?

l ?診斷方法?：使用氦質(zhì)譜檢漏儀定位漏點，檢查密封圈/管道連接狀態(tài)。

l ?解決方案?：更換老化密封圈（推薦材料：氟橡膠）；啟動備用真空泵組提升抽氣效率。

2、?溫度控制失效?

l ?診斷方法?：監(jiān)控溫控系統(tǒng)反饋信號，驗證傳感器精度（誤差＞±1℃需排查）。

l ?解決方案?：更換故障的溫度傳感器；調(diào)整PID控制算法參數(shù)以優(yōu)化響應(yīng)速度。

四、?光學(xué)系統(tǒng)類故障?

1、?顯微鏡成像模糊或亮度異常?

l ?診斷方法?：檢查物鏡/目鏡清潔度，確認(rèn)孔徑光欄開度是否匹配（建議開度：70%-80%）。

l ?解決方案?：使用無塵布清潔光學(xué)鏡頭；調(diào)節(jié)樣品臺水平度至雙軸誤cha ＜0.01°。

五、?通用排查流程?

1、?直覺法?：觀察設(shè)備外觀是否有斷線、元件燒毀等直觀異常。

2、?替換法?：用正常部件（如探針、傳感器）替換可疑元件驗證故障點。

3、?參數(shù)對比法?：將故障數(shù)據(jù)與歷史正常數(shù)據(jù)對比，定位偏差環(huán)節(jié)。