真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體設(shè)計制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀。

1、根據(jù)應(yīng)用需求選擇腔體形狀。幾種代表性的真空腔體包括垂直真空腔體、水平真空腔體、立方真空腔體和球形真空腔體。

2、根據(jù)獲得真空度選擇腔體材質(zhì)。鈦用于ji高真空；鋁用于超高真空；不銹鋼用于高真空。

3、法蘭：CF法蘭，是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤，適用的真空度最高達(dá)到10^-12mbar。KF法蘭，應(yīng)用在真空系統(tǒng)中的一張快卸法蘭，它由以下幾個元件構(gòu)成：兩個成對稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。不需要是用別的東西，只要簡單地用手?jǐn)Q動蝶形螺母就可以松開或壓緊連結(jié)、適用于真空度最高達(dá)到10^-8mbar。

4、觀察窗：觀察窗是安裝在真空鼻腔上的一個窗口零部件，可以通過該窗口傳輸紫外線、可見光及紅外線等各種光波及電磁波。錦正茂科技生產(chǎn)可拆卸觀察窗是在標(biāo)準(zhǔn)法蘭上進(jìn)行加工，可以安裝玻璃片的一種視窗，可以更換不同材質(zhì)的窗片，一般采用石英窗片，也可以選硅硼窗片等其他特殊光學(xué)窗片。